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光学工具显微镜

  • 具备12吋样品平台
  • 具备电动平台及自动组图功能
  • 设备种类：LEICA DM2700M
  • 设备能力：
    放大倍率：50x/100x/200x/500x/1000x/1500x

 
实体金相显微镜

  • 适合显微操作
  • 搭配CCD 拍照系统，可以提供高解析之实体影像
  • 设备种类：LEICA S8 APO
  • 设备能力：
    1.  具有75 mm 的工作距离(1.0x 物镜)
    2.  标准倍率达到80倍
实体金相显微镜照相功能
 
 

 
I-V 曲线量测

  • 验证及量测电子元件之电性参数及特性
  • 量测原理是利用自动曲线追縱仪电特性量测的方式，快速计算阻值，确认各脚位(Pin)关系并即时筛检出异常(Open/Short)，另可产出曲线图档
  • 借此了解元件的失效行为以推测可能的故障机制，并决定后续的分析动作
  • 设备种类：KEITHLEY 2450 IV Curve
  • 设备能力：
    1. 电压范围：20mV~200V
    2. 电流范围：10nA~1A
    3. 基本准确度：0.012%

 
共轭焦及白光干涉显微镜

  • 具备12吋样品平台
  • 结合共轭焦显微技术及干涉量测技术二合一之高阶显微镜机台
  • 用于观察样品的表面高低起伏，如Pad上针痕深度
  • 设备种类：LEICA DCM8
  • 设备能力：
    1. 共轭焦可展现最佳侧向解析度达0.1um，干涉量测可展现最佳纵向解析度达0.1nm
    2. 共轭焦倍率：10X、50X、100X、150X
    3. 白光干涉倍率：20X、50X

 
X-RAY 检测系统

  • 可依照需求进行样品 2D、3D拍摄
  • 锡球内部气泡分析及计算
  • 以非破坏性分析观察样品内部结构
  • 设备种类：DAGE QUADRA 7
  • 设备能力：
    1. 放大倍率2500x
    2. 最小分辨率达0.1um
    3. X-RAY 射线管电压范围：30~160kV
    4. 接收器倾斜角度可达140°以及环绕360°
    5. 备有碳纤维载台(增加穿透率，提高影像品质)