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高压气体粒子计数器

  • 高压气体量测系统用以监测高压气体管路之气体中微粒子含量。
  • HPGP-101-C高压气体粒子计数器可用于氧气、氢气和大多数无害气体,亦被用于许多反应性气体监测的应用。
  • 设备种类:PMS HPGP-101-C
  • 设备能力:
    尺寸通道:8个通道,阈值分别为0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0μm


 
离子层析仪

  • 藉由空气帮浦将空气中的阴、阳离子溶于水中,并透过离子层析仪系统得知空气中阴、阳离子浓度。
  • 利用此仪器定期监控无尘室内空气的阴、阳离子浓度。
  • 设备种类:Metrohm 930
  • 设备能力:
    1. 监控阴离子种类:F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、PO43-、SO42-
    2. 監控陽離子總類:Na+、NH4+、K+
    3. 机台侦测极限:1ppb

液体粒子计数器

  • 为目前半导体规格检测仪器,对水中的微粒子进行On line以及Off line检测,以达到确认水质以及产品清洗洁净度。
  • 厂内用于检测Cassette清洗后之洁净度,评估是否清洗干净。
  • 设备种类:RION Liquid-borne Particle Sensor KS-16
  • 设备能力:
    1. 测量尺寸范围:5个通道:≥0.1µm、≥0.15µm、≥0.2µm、≥0.3µm、≥0.5µm
    2. 流量:10mL/min