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高压气体粒子计数器
高压气体量测系统用以监测高压气体管路之气体中微粒子含量。
HPGP-101-C高压气体粒子计数器可用于氧气、氢气和大多数无害气体,亦被用于许多反应性气体监测的应用。
设备种类:PMS HPGP-101-C
设备能力:
尺寸通道:8个通道,阈值分别为0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、2.0、3.0、5.0μm
离子层析仪
藉由空气帮浦将空气中的阴、阳离子溶于水中,并透过离子层析仪系统得知空气中阴、阳离子浓度。
利用此仪器定期监控无尘室内空气的阴、阳离子浓度。
设备种类:Metrohm 930
设备能力:
1. 监控阴离子种类:F
-
、Cl
-
、NO
2
-
、Br
-
、NO
3
-
、PO
4
3-
、SO
4
2-
2. 監控陽離子總類:Na
+
、NH
4
+
、K
+
3. 机台侦测极限:1ppb
液体粒子计数器
为目前半导体规格检测仪器,对水中的微粒子进行On line以及Off line检测,以达到确认水质以及产品清洗洁净度。
厂内用于检测Cassette清洗后之洁净度,评估是否清洗干净。
设备种类:RION Liquid-borne Particle Sensor KS-16
设备能力:
1. 测量尺寸范围:5个通道:≥0.1µm、≥0.15µm、≥0.2µm、≥0.3µm、≥0.5µm
2. 流量:10mL/min
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